ខ្ញុំ. គោលការណ៍សំអាត
ម៉ាស៊ីនសម្អាតប្លាស្មា ដំណើរការពាក់ព័ន្ធនឹងការណែនាំឧស្ម័នប្រតិកម្មផ្សេងៗគ្នាដោយផ្អែកលើលក្ខណៈសម្បត្តិរបស់សម្ភារៈដើម្បីបង្កើតប្លាស្មានៅក្រោមការខ្វះចន្លោះ និងការហូរចេញ។.
អេឡិចត្រូតពីរត្រូវបានតំឡើងនៅក្នុងធុងបិទជិតដើម្បីបង្កើតដែនម៉ាញេទិក, ហើយម៉ាស៊ីនបូមធូលីត្រូវបានប្រើដើម្បីរក្សាកម្រិតបូមធូលីជាក់លាក់. ដោយសារឧស្ម័នកាន់តែកម្រ, ចម្ងាយរវាងម៉ូលេគុល និងចលនាសេរីនៃម៉ូលេគុល ឬអ៊ីយ៉ុងកើនឡើង. នៅក្រោមឥទ្ធិពលនៃវាលអេឡិចត្រូ, ការប៉ះទង្គិចកើតឡើង, បង្កើតប្លាស្មា.
ក្នុងពេលជាមួយគ្នា, ការបញ្ចេញពន្លឺកើតឡើង, ហើយប្លាស្មាផ្លាស់ទីក្នុងដែនអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច, “ការទម្លាក់គ្រាប់បែក” ផ្ទៃនៃសម្ភារៈត្រូវបានសម្អាត, ផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈសម្បត្តិផ្ទៃរបស់វា។ (ការសម្អាត, រដុប, ឬ etching វា។), បង្កើនថាមពលធ្វើឱ្យផ្ទៃ, និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពស្អិតនៃផ្ទៃ.
ការព្យាបាលលើផ្ទៃដោយប្រើ ក ម៉ាស៊ីនសម្អាតប្លាស្មា ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវ “ចំណង” កម្លាំងនៃសម្ភារៈកំឡុងពេលដំណើរការ, ការកែលម្អការអនុវត្តផលិតផល និងទិន្នផលបន្ថែមទៀត, ខណៈពេលដែលវាមិនមានគ្រោះថ្នាក់ដល់មនុស្ស, សម្ភារៈ, និងបរិស្ថាន.
II. ឧស្សាហកម្មកម្មវិធី
ប្រើជាចម្បងក្នុងការផលិត semiconductors (LEDs/ICs/PCBs), គ្រឿងអេឡិចត្រូនិក (ទូរស័ព្ទចល័ត, កុំព្យូទ័រយួរដៃ), អាកាសចរណ៍, ប្លាស្ទិក, រថយន្ដ, ជីវវេជ្ជសាស្ត្រ, និងផ្នែករឹង.
