TÔI. Nguyên tắc làm sạch
Máy làm sạch plasma Quá trình này bao gồm việc đưa vào các loại khí phản ứng khác nhau dựa trên đặc tính của vật liệu để tạo ra plasma trong điều kiện chân không và phóng điện..
Hai điện cực được đặt trong một hộp kín để tạo ra từ trường, và một máy bơm chân không được sử dụng để duy trì mức độ chân không nhất định. Khi khí ngày càng trở nên hiếm, khoảng cách giữa các phân tử và sự chuyển động tự do của các phân tử hoặc ion tăng lên. Dưới tác dụng của điện trường, va chạm xảy ra, hình thành plasma.
Đồng thời, sự phóng điện phát sáng xảy ra, và plasma di chuyển trong trường điện từ, “ném bom” bề mặt vật liệu được làm sạch, thay đổi tính chất bề mặt của nó (dọn dẹp, làm nhám, hoặc khắc nó), tăng năng lượng kích hoạt bề mặt, và cải thiện độ bám dính bề mặt.
Xử lý bề mặt bằng cách sử dụng máy làm sạch plasma tăng cường “sự gắn kết” sức mạnh của vật liệu trong quá trình, cải thiện hơn nữa hiệu suất và năng suất của sản phẩm, trong khi vô hại với con người, nguyên vật liệu, và môi trường.
II. Các ngành ứng dụng
Chủ yếu được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn (Đèn LED/IC/PCB), điện tử tiêu dùng (điện thoại di động, máy tính xách tay), hàng không, nhựa, ô tô, y sinh, và phần cứng.
