ฉัน. หลักการทำความสะอาด
เครื่องทำความสะอาดพลาสม่า กระบวนการเกี่ยวข้องกับการแนะนำก๊าซปฏิกิริยาที่แตกต่างกันตามคุณสมบัติของวัสดุเพื่อสร้างพลาสมาภายใต้สุญญากาศและการปล่อย.
อิเล็กโทรดสองตัวถูกติดตั้งไว้ในภาชนะที่ปิดสนิทเพื่อสร้างสนามแม่เหล็ก, และใช้ปั๊มสุญญากาศเพื่อรักษาระดับสุญญากาศระดับหนึ่ง. เมื่อก๊าซกลายเป็นสารบริสุทธิ์มากขึ้น, ระยะห่างระหว่างโมเลกุลและการเคลื่อนที่อย่างอิสระของโมเลกุลหรือไอออนจะเพิ่มขึ้น. ภายใต้อิทธิพลของสนามแม่เหล็กไฟฟ้า, การชนกันเกิดขึ้น, ก่อตัวเป็นพลาสมา.
ในเวลาเดียวกัน, มีการปล่อยแสงออกมา, และพลาสมาจะเคลื่อนที่ภายในสนามแม่เหล็กไฟฟ้า, “การทิ้งระเบิด” พื้นผิวของวัสดุที่กำลังทำความสะอาด, การเปลี่ยนแปลงคุณสมบัติพื้นผิว (ทำความสะอาด, หยาบ, หรือแกะสลักมัน), การเพิ่มพลังงานกระตุ้นพื้นผิว, และปรับปรุงการยึดเกาะพื้นผิว.
การรักษาพื้นผิวโดยใช้ก เครื่องทำความสะอาดพลาสม่า ช่วยเพิ่ม “พันธะ” ความแข็งแรงของวัสดุในระหว่างกระบวนการ, ปรับปรุงประสิทธิภาพผลิตภัณฑ์และผลผลิตเพิ่มเติม, ในขณะที่ไม่เป็นอันตรายต่อมนุษย์, วัสดุ, และสิ่งแวดล้อม.
ครั้งที่สอง. อุตสาหกรรมแอพพลิเคชั่น
ใช้เป็นหลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ (ไฟ LED/ไอซี/PCB), เครื่องใช้ไฟฟ้า (โทรศัพท์มือถือ, แล็ปท็อป), การบิน, พลาสติก, ยานยนต์, ชีวการแพทย์, และฮาร์ดแวร์.
