ឧស្សាហកម្មសាកល្បងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងវេចខ្ចប់ពឹងផ្អែកលើផ្ទៃស្អាតជ្រុល ដើម្បីធានាបាននូវភាពរឹងមាំនៃចំណង និងស្ថេរភាពឧបករណ៍, និង ម៉ាស៊ីនសម្អាតប្លាស្មាក្នុងបន្ទាត់ គឺជាឧបករណ៍ដំណើរការសំខាន់មួយ។. វារួមបញ្ចូលយ៉ាងរលូនទៅក្នុងខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្ម, ដោះស្រាយចំណុចឈឺចាប់ដូចជាសំណល់ជាតិពុល, ការភ្ជាប់ចំណុចប្រទាក់ខ្សោយ, និងភាពឆបគ្នានៃដំណើរការទាប.
ការព្យាបាលមុនការភ្ជាប់ខ្សែ: ការពង្រឹងចំណង & ធន់
សរតីកេបលបុមទីមួយ, ការភ្ជាប់ខ្សែគឺជាជំហានវេចខ្ចប់ដ៏សំខាន់ដែលងាយរងគ្រោះទៅនឹងអុកស៊ីតកម្មបន្ទះ និងសំណល់សរីរាង្គ. ម៉ាស៊ីនសម្អាតប្លាស្មាក្នុងបន្ទាត់ប្រើឧស្ម័នចម្រុះ Ar/O₂ (សមាមាត្រ 7:3) ដើម្បីលុបភាពកខ្វក់ដោយមិនធ្វើឱ្យខូចបន្ទះអាលុយមីញ៉ូម ឬស៊ុមសំណ.
ជាងនេះ។, វាដំណើរការនៅថាមពល 180-250W និងម៉ាស៊ីនបូមធូលី 5-10Pa, ព្យាបាលផ្ទៃក្នុង 3-5 នាទីដើម្បីបង្កើនកម្លាំងទាញខ្សែ. ឧទាហរណ៍, រោងចក្រវេចខ្ចប់បានប្រើវាសម្រាប់ការសម្អាតស៊ុមនាំមុខ QFN, បង្កើនកម្លាំងទាញខ្សែពី 15N ដល់ 25N និងកាត់បន្ថយការបាក់ឆ្អឹង. បរនក់លើ, វាធ្វើឱ្យក្រុមមុខងារផ្ទៃសកម្ម, ធានាគុណភាពនៃការផ្សារភ្ជាប់ជាប់លាប់នៅទូទាំងផលិតកម្មបរិមាណខ្ពស់។.
ការធ្វើឱ្យសកម្មនៃការភ្ជាប់ Wafer: បង្កើនប្រសិទ្ធភាពសមាហរណកម្មតំណពូជ
ការភ្ជាប់ wafer-to-wafer ឬ die-to-wafer តម្រូវឱ្យមានសកម្មភាពលើផ្ទៃខ្ពស់ ដើម្បីជៀសវាងការចាត់ទុកជាមោឃៈនៃចំណុចប្រទាក់. ម៉ាស៊ីនសម្អាតប្លាស្មាក្នុងបន្ទាត់ផ្តល់នូវការធ្វើឱ្យផ្ទៃយ៉ាងជាក់លាក់សម្រាប់ស៊ីលីកុន, កញ្ចក់, និងសមាសធាតុ semiconductors.
លើសពីនេះទៀត។, វាប្រើល្បាយឧស្ម័នដែលកាត់តាម-Ar/O₂សម្រាប់ការធ្វើឱ្យស៊ីលីកុនសកម្ម និង NH₃ សម្រាប់សមាសធាតុ III-V ដើម្បីបង្កើនថាមពលនៃការភ្ជាប់. ក្រៅពីនេះ។, វាគាំទ្រដំណើរការសីតុណ្ហភាពទាប (<150℃), ល្អសម្រាប់ឧបករណ៍ងាយនឹងកំដៅ. ដំណោះស្រាយនេះបានជួយមន្ទីរពិសោធន៍បង្កើនប្រសិទ្ធភាពការភ្ជាប់ស៊ីលីកុន 12 អ៊ីញ, កាត់អត្រាមោឃៈចំណុចប្រទាក់ពី 15% ទៅ 0.3% និងកាត់បន្ថយសីតុណ្ហភាពព្យាបាលកំដៅដោយ 700 ℃.
ការរៀបចំ Flip Chip Underfill: ការទប់ស្កាត់ការខូចទ្រង់ទ្រាយ
តីភ្លែត, ការវេចខ្ចប់បន្ទះសៀគ្វីត្រឡប់ត្រូវការស្អាត, ផ្ទៃដែលបានធ្វើឱ្យសកម្ម ដើម្បីធានាបាននូវភាពស្អិតជាប់ និងគ្មានការបំពេញជាមោឃៈ. ម៉ាស៊ីនសម្អាតប្លាស្មាក្នុងបន្ទាត់ យកសំណល់រាវ និងស្រទាប់អុកស៊ីតចេញពីចន្លោះបន្ទះឈីប និងស្រទាប់ខាងក្រោម.
បរនក់លើ, វាបង្កើនសំណើមលើផ្ទៃ (មុំទំនាក់ទំនងទឹក។ <10°) បង្កើនល្បឿនលំហូរ capillary ទាប. ឧទាហរណ៍, រោងចក្រវេចខ្ចប់ទំនើបបានប្រើវាដើម្បីព្យាបាលផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វី, កាត់បន្ថយចន្លោះប្រហោងក្រោម 90% និងការកែលម្អភាពជឿជាក់នៃការជិះកង់កម្ដៅ. ជាលទ្ធផល, វាជួយឆ្លងកាត់ MSL (កម្រិតភាពប្រែប្រួលសំណើម) ការធ្វើតេស្តដោយភាពងាយស្រួល.
BGA/Solder Ball Mounting ការសម្អាតមុន: ការបង្កើនភាពរឹងម៉ាំ
ស្រទាប់ខាងក្រោម BGA និងការម៉ោនគ្រាប់បាល់ solder ទទួលរងពីការកត់សុីបន្ទះ, នាំឱ្យមានការសើម solder ក្រីក្រ. ម៉ាស៊ីនសម្អាតប្លាស្មាក្នុងបន្ទាត់ប្រើឧស្ម័នចម្រុះ O₂ ឬ O₂/N₂ ដើម្បីសម្អាត និងធ្វើឱ្យបន្ទះ BGA រលោង.
ជាងនេះ។, វាដំណើរការនៅថាមពល 220W និងម៉ាស៊ីនបូមធូលី 12Pa, pads ព្យាបាលនៅក្នុង 8 នាទីដើម្បីបង្កើនភាពសុចរិតនៃសន្លាក់. លើសពីនេះទៀត។, វារួមបញ្ចូលជាមួយការត្រួតពិនិត្យក្រោយការព្យាបាល, ធានាថាមពលផ្ទៃបន្ទះបំពេញតាមតម្រូវការនៃការផ្សារ. រោងចក្រ semiconductor បានប្រើវាដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពការភ្ជាប់ BGA, បង្កើនទិន្នផលការឆ្លងកាត់ដំបូងដោយ 35% និងកាត់បន្ថយថ្លៃដើមការងារឡើងវិញ.
ការវេចខ្ចប់ MEMS: ការធានា Hermeticity & ការសម្តែង
ទីបំផុត, ឧបករណ៍ MEMS ទាមទារភាពតឹងរ៉ឹង និងអនាម័យលើផ្ទៃ ដើម្បីរក្សាភាពត្រឹមត្រូវនៃការចាប់សញ្ញា. ម៉ាស៊ីនសម្អាតប្លាស្មាក្នុងបន្ទាត់ប្រើដំណើរការពីរជំហាន (ហៀរសំបោរ + ការធ្វើឱ្យសកម្ម O₂) សម្រាប់ការភ្ជាប់ anodic កញ្ចក់ស៊ីលីកុន.
ក្រៅពីនេះ។, វាកាត់បន្ថយវ៉ុលភ្ជាប់ពី 1000V ទៅ 200V, កាត់បន្ថយការប្រើប្រាស់ថាមពល 80% ខណៈពេលដែលធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវភាពតឹងនៃការលេចធ្លាយ. បរនក់លើ, វាយកភាគល្អិតតូចៗ និងសំណល់សរីរាង្គចេញ, បញ្ចុះចរន្តលេចធ្លាយឧបករណ៍ MEMS ពី 10⁻⁷A ដល់ 10⁻¹²A. ឧទាហរណ៍, ក្រុមហ៊ុនផលិត MEMS បានប្រើវាដើម្បីបង្កើនភាពជឿជាក់របស់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា, ពង្រីកអាយុសេវាកម្ម 3x.
តម្លៃស្នូល: ភាពជាក់លាក់រួមបញ្ចូលគ្នាសម្រាប់ការវេចខ្ចប់កម្រិតខ្ពស់
ម៉ាស៊ីនសម្អាតប្លាស្មាក្នុងបន្ទាត់រួមបញ្ចូលគ្នានូវការសម្អាតកម្រិតអាតូម, ការធ្វើឱ្យសកម្មលើផ្ទៃ, និងភាពឆបគ្នាក្នុងបន្ទាត់. វាសម្របខ្លួនទៅនឹងដំណើរការវេចខ្ចប់ចម្រុះ - ការភ្ជាប់ខ្សែ, ការផ្សារភ្ជាប់ wafer, ត្រឡប់បន្ទះឈីប, និង MEMS - ជាមួយនឹងការកំណត់ហ្គាស និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រសមស្រប.
បើប្រៀបធៀបទៅនឹងការសម្អាតក្រៅបណ្តាញ, វាលុបបំបាត់ការរំខានដល់ដំណើរការ និងធានានូវគុណភាពបាច់ដែលជាប់លាប់. ទីបំផុត, វាមិនត្រឹមតែជាឧបករណ៍សម្អាតប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែជាដំណោះស្រាយដែលជំរុញការវេចខ្ចប់សារធាតុ semiconductor កម្រិតខ្ពស់ឆ្ពោះទៅរកភាពជឿជាក់ និងប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់.
ក្រុមហ៊ុន Jetronl Gunner Co., អិលធីឌី. មានឯកទេសក្នុងវិស័យវាស់ស្ទង់អេឡិចត្រូនិចសម្រាប់ 35 ឆ្នាំ, គ្របដណ្តប់លើតម្រូវការវាស់វែងផ្សេងៗនៅទូទាំងសង្វាក់ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចទាំងមូល និងផ្តល់ការគាំទ្រការវាស់វែងច្បាស់លាស់.
